技术编号：6830600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是利用T形梁和平行板结构来实现一个微机械可变电容，属于微电子器件制造的。背景技术 由于在个人通讯和军事通讯领域系统体积小型化、高可靠性及降低成本的需求，在射频领域也开展了对MEMS(微机械)器件的研究。许多现代无线电系统需要能够在几千兆赫的频率范围内拥有宽调幅、低噪声的高质量电压控制振荡器(VCO)，其调节范围必须不低于工艺和温度变化所致的频率变化范围，可调性通常由一个可变电容提供。由于集成在芯片上的可变电容很难实现高的品质因素，可变电容通常用外部元...
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