技术编号:6830826
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到半导体存储器件和半导体器件及其制造方法、便携式电子装置、以及IC卡。更确切地说,本发明非常适用于电可擦可编程半导体存储器件及其制造方法。背景技术 例如,快速存储器是一种电可擦可编程存储器。图25示出了一般的快速存储器元件的结构剖面图。在此元件的结构中,由多晶硅组成的浮栅906经由第一氧化物膜904被排列在半导体衬底901上,由多晶硅组成的控制栅907经由第二氧化物膜905被排列在浮栅906上,且成对的源和漏扩散区902和903被排列在半导体衬底...
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