技术编号：6831486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳电子器件性能测试用器件结构，属于微电子。背景技术 现代社会的信息容量急剧增加，对信息的处理，传输和存储不断提出越来越高的要求。为适应这一要求，在技术进步的推动下，集成电路一直按摩尔定律高速发展，预计其特征尺寸将从现在的0.13微米技术进一步缩小到2006年将达到0.1微米，2012年0.05微米。当集成电路的特征尺寸进入亚0.1微米，即纳米尺寸以后，进一步发展的阻力将大大增加。因为进入纳米尺寸以后，很多传统的物理理论将不在适用。因此测试纳米尺寸...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。