技术编号:6831677
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种与微机电元件的制作技术,尤指。背景技术 在现有的光学元件制作工艺中,因为所着重的是其所具有的特定电光(electro-optic)、磁光(magneto-optic)与声光(acoustic-optic)等效应(这些效应多需通过使用特定的材料及特殊的制造方法而获得),因此在制作成本上始终无法有效降低。另外,虽然目前已知通过可动式的机械元件如面镜(mirror)、光栅(grating)及快门(shutter)等等来直接对光进行调变(manipu...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。