技术编号：6831870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及采用在工作压力和环境压力之间的压力变化来使真空设备工作的方法，这种真空设备在一个真空腔室里具有由电子构件、变压器、电动机、滚动轴承和导向滚筒这些组件所构成的内装件，这些内装件设有可通风的外壳，其中导向滚筒设有滚动轴承，该轴承固定在外壳里、固定在支承体上。背景技术 尤其是在必需更换基底时、补充供给涂层材料、维护、修理或改造时，才会在大多处于高真空部位里并由工艺条件所设定的工作压力和环境压力或大气压力之间发生变化。在真空腔室的一个封闭装置能够打开之前...
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