技术编号:6831999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等(下面,简称为“基板”)实施规定的处理的,特别是涉及将基板在基板安置部上吸附及解吸时的改进。背景技术 在现有技术中,已知有将作为处理对象的基板吸附于吸附板上实施规定的处理的基板处理装置(例如专利文献1)。此外,在现有技术中,已知有这样的装置在利用多个固定销支撑方形基板的同时,将基板在处理板和基板交接位置之间升降(例如专利文献2)。专利文献1为特开平10-086085号公报,专...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。