技术编号：6832173
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在基片上生成光滑金属氧化物层尤其是铟锡氧化物层的方法，该基片具体用于制造有机发光二极管。本发明进一步涉及一种基片铟锡氧化物覆层。背景技术 有机发光二极管(OLEDs)通常是这样制成的在玻璃基片上覆以一透明导电层，然后构造该导电层以使其用作电极。然后，各种有机材料层沉积在该透明电极上。这些有机材料层非常薄，通常在几十纳米范围内。为了防止表面上的尖峰(spikes)或边缘引起的短路或其它缺陷，该透明电极必须有一个非常光滑的表面。显示器最后由一个通...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。