技术编号:6832206
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液体浸入式光刻术,更明确地说,涉及用以控制于浸入式光刻系统中的液体流动的速度分配的方法与系统。背景技术 光刻术的实际限制假定为发生影像的媒介为空气。这实际限制系由有效波长公式Λeff=λ2·n·NA,]]>其中λ为入射光波长,NA为投影光学系统的数值孔径,及n为媒介的折射率。现在,藉由引入液体(替代空气)于投影光学系统的最后透镜组件与一被成像...
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