技术编号:6832614
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体器件,该半导体器件由形成于有绝缘表面的基片上的薄膜晶体管(TFT)构成。这种半导体器件包括IC、LSI、电光器件等等,本发明应用于电光器件特别有效。背景技术 近年来,对由多晶硅薄膜(多晶硅膜P-Si膜)TFT代替非晶硅薄膜(非晶硅膜a-Si)TFT构成的半导体器件的研究已有了进展。特别是,由于对于作为PC监视器、视频摄象机、和投影仪等的显示器件的需求日益增长,对半导体器件集成于基片上的有源矩阵型显示器件的开发和研究成绩卓著。关于这种有源...
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