技术编号:6833332
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种集成电路制程,且特别是有关于一种用于集成电路制造的混合模式(mixed-mode)制程。背景技术 随着应用于集成电路的半导体组件制作困难度的提升,便产生了现今具有相对紧邻的有源组件(例如场效应晶体管)以及电容器的有源半导体组件的需求。如此的有源及无源组件的混合则须藉助于半导体组件的混合模式制程(mixed-mode process)而制备。因此,借由所谓的混合模式制作程序可将如金氧半导体场效应晶体管(于下文中简称为MOSFET)、晶体管以...
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