基于氮化镓半导体的紫外线光检测器的制作方法技术资料下载

技术编号:6833606

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本发明涉及一种紫外线光检测器,特别是有关使用氮化镓化合物半导体的紫外线光检测器结构。背景技术 目前,能将光讯号转换为电讯号的光检测器(Photo Detector)的常规做法有三种,分别是采用真空管的光倍增管(Photo Multiplier,PMT)、使用硅材料的光检测器以及使用氮化镓化合物半导体的光检测器。在这三种做法之中,光倍增管的成本高、需要高操作电压、而且真空管容易破碎。而硅光检测器则具有制作容易、成本低廉、与低操作电压等特性。虽然,硅光检测器对...
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