技术编号:6834247
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微电子制造工艺,尤其是。背景技术 在图像感应器的接触孔制造工艺中,包含3种类型的接触孔。接触孔是连接前道晶体管单元和后道金属配线的通道,既要连接晶体管的栅极,又要连接到源漏极(栅极和源漏极有一栅的高度差),还要连接到光电二极管。如附图1所示,其为一般的图像感应器结构示意图,接触孔13连接到栅极,接触孔14连接到源漏极,接触孔15连接到光电二极管。上述三个接触孔13、14、15的刻蚀结果的好坏直接影响到晶体管的特性以及产品的良率。对于上述接触孔...
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