技术编号:6834309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是。特别涉及包含在半导体器件的制造工序过程中的监测方法和对后续监测信息的制造工序的反映方法的。背景技术 在物品制作中,制造分散性是损害了产品的特性(包含功能、性能及形状)的均匀性的性能,是扩大产品规格、维持制造成品率(品质降低),还是维持产品规格、降低制造成品率(成本上升),对于制造业者来说,是一种重大的决断。其中,对于作为代表性的批量生产产品的,融合了成本优先的制造方法和品质优先的制造方法的经过了改进的制造方法已试行了若干种。在说明上述改进了的制造...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。