技术编号:6835083
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体器件制作方法,尤指一种。背景技术量子点(Quantum Dot,简称QD)是一种零维自由的量子结构(ZeroDimensional Quantum Structures),其在各个方向的尺寸大小均在10nm左右。当颗粒尺寸达到纳米量级时,尺寸限域将引起尺寸效应、量子限域、宏观量子隧道效应及表面效应。因此,量子点展现出许多不同于宏观材料的物理及化学性质。近年来,半导体量子点发展出许多用途,例如高性能单电子器件、生物医学器件、传感及探测器件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。