技术编号:6835300
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用真空紫外光的处理装置。具体而言,涉及通过向处理气体照射真空紫外光来激活该处理用气体,使得该处理用气体作用于被处理物的处理装置,例如可利用于表面改性、干式洗净、抗蚀剂的灰化/除去、硅表面的蚀刻等中的处理装置。背景技术 以往,利用真空紫外光进行处理的处理装置,广泛利用于例如表面改性、干式洗净、抗蚀剂的灰化/除去等各种领域。若大致区分这些处理装置,则有通过对被照射物直接照射该真空紫外光,使该被照射物产生光化学反应等来进行处理的情况,以及将该真空紫外...
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