技术编号：6835798
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超声波清洗用喷嘴和具有该喷嘴的超声波清洗装置，该超声波清洗用喷嘴用于半导体制造装置、液晶显示装置的基板制造装置等，并用于将液晶显示装置用方形玻璃基板、滤色器用玻璃基板、遮光模用基板、热敏头(サ-マルヘツド)用陶瓷基板、印刷电路板、半导体晶片、薄膜基片、金属环(hoop)材料和电子部件等的基材表面进行清洗处理。背景技术 作为清洗装置的一种，有在基材上设置实施显像、蚀刻、剥离等的处理装置的部位，进行基材处理中使用的处理液的去除和基材表面的清洁的装...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。