技术编号：6835828
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于设备中的多晶硅薄膜的制造方法和使用由该方法制造的多晶硅薄膜的设备，特别涉及能控制多晶硅薄膜晶粒形状的多晶硅薄膜的制造方法和使用多晶硅薄膜的设备。背景技术 通常，连续横向固化(SLS)结晶法通过将激光束两次或更多次地照射在非晶硅层上来横向生长晶粒硅。如此形成的多晶硅晶粒为柱状；此外，由于晶粒的有限尺寸，在相邻的晶粒间出现晶粒边界。通过SLS结晶技术可以在衬底上形成多晶或单晶的大硅晶粒，并且能获得与由单晶硅制造的薄膜晶体管(TFT)相似的特性...
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