技术编号：6836186
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用光线使结晶靶区如经过处理的衬底的多晶半导体膜熔融和结晶的结晶设备和方法、电子器件的制造方法和电子器件。背景技术 例如，作为在不给玻璃衬底造成热损伤的情况下使非晶半导体例如形成在液晶或电致发光(EL)显示装置的玻璃衬底上的非晶硅薄膜结晶的方法，已经研制了一种准分子激光器结晶方法。这项技术通过使用均匀化光学系统使准分子激光的光照射横截面的强度均匀，使准分子光经过具有细长矩形开口的金属掩模而形成矩形形状(例如，横截面形状为150mm×200μm...
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