技术编号：6840276
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器(VCSEL)，属于半导体光电子，涉及一种垂直腔面发射激光器。背景技术垂直腔面发射激光器(VCSEL)以其光单色性好、发散角小、单纵模激射、低阈值电流、高调制带宽、易于高密度集成、二维阵列、低成本等优势，在光通信、光互联、光存贮、光显示、光信息处理等方面具有广阔的应用前景，被认为是未来数字式光通信中光发射的关键器件。传统的垂直腔面发射激光器，如图1所示，通常由衬底7上生长上分布布拉格反射镜1、有源区部分8和...
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