技术编号：6840652
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。1.发明的领域本发明涉及到半导体器件的制造。更确切地说，本发明涉及到将射频(RF)零件、RF器件、微波零件、以及微波器件集成到标准互补金属氧化物半导体(CMOS)芯片中。2.相关技术的描述当今的半导体器件被不断地推向满足更加严格的要求。作为采用充满市场的这一技术的器件，消费者对器件提出了更高的要求。这些要求包括更小更紧凑的功能更强的器件。为了满足这些要求，半导体器件采用了CMOS芯片和RF芯片。这种器件包括例如需要数字CMOS电路以及RF电路二者来启动无线...
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