半导体芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:6840887

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本实用新型是有关于一种半导体组件,且较佳实施例是特别有关于一种应变型沟道(strained channel)互补型场效晶体管(complementaryfield-effect transistor)。背景技术金氧半场效晶体管(metal-oxide-semiconductor field-effecttransistor;MOSFET)的尺寸缩小的方法可包括栅极长度以与栅极氧化物厚度的缩减,其于过去数十年来使得集成电路的速度表现、电路密度以及每单位效能成...
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