技术编号:6841481
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子器件,更具体地是涉及包括微机械开关及其制造方法的集成电路器件。特别但不是唯一地,本发明涉及集成电路光敏二极管阵列,具有由相关微机械开关控制的单个光敏二极管的寻址。已经认识到微机械开关可以给出比传统的半导体关开器件如晶体管或二极管更低的导通电阻和更高的断开电阻。已经提出不同类型的用于可移动横梁静电激励或电磁激励以执行开关操作的微机械开关。制造开关横梁的公知方法包括具有合适的机械与电特性的横梁结构在牺牲支持层上的淀积。最终除去牺牲层留下一个腔,横...
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