技术编号:6843241
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基于碳化硅的微电子器件及其制造方法,且更具体地说,涉及基于碳化硅的发光器件,例如发光二极管(LED)和激光二极管及其制造方法。背景技术 发光二极管正广泛用于消费和商业应用。本领域技术人员所公知的是,发光二极管通常包括在微型电子基板上的二极管区域。例如,微型电子基板可包含例如硅、砷化镓、磷化镓以及上述材料的合金、碳化硅和/或蓝宝石。LED的持续发展已经形成了可覆盖和超过可见光谱的高效且强机械性的光源。这些属性(结合固态器件的潜在长使用寿命)可使新型...
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