技术编号:6843379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。背景技术薄膜晶体管(TFTs)使用在许多利用半导体装置的应用中,例如在显示器例如平板显示器、其他显示器和类似的中使用的各种微电子电路。其中一个挑战那些设计和制作薄膜晶体管的人的难题是制造TFTs的低成本方法和由此导致的低成本TFT结构。有许多方法可以减低TFT的开发成本。例如,一个方法是注重制造过程本身并尝试使用流水线或者另外地减少与制造TFTs相关的复杂性。也就是说,有多种制作TFTs的方法,由于包括的处理步骤的优点,这些方法实施起来昂贵或技...
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