技术编号：6843553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的领域是使用离子化沉积生产薄层或膜。背景技术电子和半导体元件被用于数量日益增加的消耗品和商业电子产品，通讯设备和数据交换产品。这些消耗品和商业产品的部分例子为电视机、电脑、手机、寻呼机、掌上或手提电脑、便携收音机、汽车立体声系统，或遥控器。随着对于这些消耗品和商业电子元件的需求增加，也要求那些用于消耗品和商业的相同产品变得更小，且更便捷。作为这些产品尺寸降低的结果，构成产品的元件必须也变小和/或变薄。那些需要减小尺寸或按比例减小的元件的例子是微电子芯...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。