技术编号：6843572
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景发明领域本发明一般涉及窑炉用具，更具体地说，涉及用于支撑晶片进行加工的晶片支撑物，这种加工比如是暴露于高温的加工工序。另外，本发明一般涉及使用这种晶片支撑物加工晶片。相关技术说明在本领域中已知，半导体加工通常要在各个加工步骤中使用工件来支撑和/或传送半导体晶片，包括退火、化学气相沉积、氧化及其他的高温处理工序。因此，使用在本领域中也被称为晶舟的水平和垂直晶片支撑物来支撑许多(aplurality of)晶片，这些晶片彼此之间通常等距间隔，形成晶片阵列。...
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