技术编号:6844099
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,以及应用所述方法形成铜微细布 ...的制作方法本发明涉及用于形成铜系布线图或具有非常薄膜厚度的铜薄膜层的方法,更具体而言,涉及用于形成铜烧结产物的布线图,或形成具有非常薄膜厚度的铜薄膜层的方法,所述铜烧结产物具有低阻抗和适用于数字高密度布线的非常微细的外形。该方法包括如下步骤使用具有表面氧化物膜层的铜微粒或铜氧化物微粒的分散体、尤其是具有表面氧化物膜层的铜纳米颗粒或铜氧化物纳米颗粒的分散体绘出超微细图案或形成薄膜涂层;对包含在用于布线的图案或薄膜涂层中的...
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