具有包括半导体纳米晶体的浮栅的非易失存储器件的制作方法技术资料下载

技术编号:6844230

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本发明一般涉及一种存储器件,特别涉及使用半导体晶体的非易失存储器件及其制造方法。背景技术 非易失存储器件在今天充满技术的世界上是无所不在的,并且用于储存信息的最普遍类型的器件是快闪存储器。除了在逻辑系统中需要集成非易失存储器件之外,快闪存储器作为独立存储元件还有很大的(和快速增加的)市场。蜂窝电话和数字照相机是非易失存储器卡有利使用的器件的几个例子。已经有关于这种类型的储存器预测将来增加市场的各种预报(例如,参见P.Pavan,R.Bez,P.Olivio...
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