技术编号:6844250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及螺线管装置,更具体地涉及螺线管流量控制阀。背景技术 在例如半导体制造、光涂覆沉积以及平板显示器制造的许多工业制造场合中,流动气体和液体的控制和测量是重要的。例如,这些应用可能需要采用精确量的流体以形成具有要求厚度和成分的膜。质量流量控制器一般被用于流体流量控制和/或测量以支持用于这些场合的加工工具。质量流量控制器一般包括介于流体流通过阀孔其间的螺线管阀。普通的螺线管阀具有环绕在柱塞芯周围并封装在壳体内的绝缘线圈。将电流施加到线圈可相对于或靠向阀座...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。