技术编号:6844407
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,更特别地,涉及一种利用加权主成分分析(WPCA)的处理系统健康指数。背景技术 在等离子体处理,例如半导体或显示器制造等,的各个阶段,临界处理参数可以发生显著的变化。处理条件的临界处理参数在一段时间之后发生的最轻微的变化都会产生不良的后果。腐蚀气体的成分和压力、处理室或晶片温度容易发生微小改变。因此,等离子体处理设备需要不断地加以监视。在任何给定的时间对这些处理参数进行测量和监视允许对可变数据进行积累和分析。处理控制反馈可以用于调节处理参数或...
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