技术编号:6844519
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶圆检测用的装置。本发明特别是涉及一种侦测一晶圆表面上的缺陷用的装置,晶圆配置在一可在二个互相垂直的方向中运行的桌件上。背景技术 在半导体制造时,晶圆在制程期间依序在多个步骤中进行加工。随着积体密度逐渐增加,则对晶圆上所形成的结构的品质上的需求亦提高。为了可对所形成的结构的品质进行检测且发现可能存在的缺陷,则对操控晶圆所用的构件的品质,准确性和可再生性的需求亦提高。这表示使晶圆在二个互相垂直而配置的方向中运行所用的桌件在决定位置时以及在一特殊...
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