在压力传感器的恒电流或恒电压工作中多功能使用的集成电阻网络的制作方法技术资料下载

技术编号:6844682

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本发明涉及压力传感器,更具体地说,涉及在采用同一传感器芯片的恒电流或恒电压配置中多功能使用的独特的集成电阻网络。背景技术 压敏电阻电桥压力传感器己广泛用于包括汽车、工业、医药和环保的各种应用中。这种传感器一般包括内含离子注入形成的压敏电阻惠斯顿电桥的硅膜片。所施加的压力使膜片变形并使电桥失去平衡,产生正比于压力引起的电阻变化与电桥激励电压乘积的差动比率输出信号。在高性能压力传感器应用中,传感器还包括检测温度的集成全惠斯顿电桥,该电桥一般不包含在膜片内以使其...
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