技术编号:6844964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压印光刻术,压印光刻术借助把模压表面压入可塑表面,使模具图压印在有可塑表面的工件表面上。更具体说,本发明涉及一种用于监测和控制压印光刻术的方法和设备,这种压印光刻术对压印有微尺寸或纳米尺寸的线条特别有用。背景技术 在衬底上形成微小线条的方法,对制作许多电子的、磁的、机械的、和光学的装置,以及生物分析和化学分析的装置,是十分重要的。该种方法,例如可用于定义微电路的线条和结构,以及平面光波导和有关光学装置的结构及工作线条。光学光刻术是形成这种线条的常...
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