技术编号：6845340
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种应用超声化学蚀刻工件的方法，以及用于实施本发明的系统。背景技术 在许多现代工业工艺中对材料进行均匀地蚀刻是必不可少的。蚀刻可以仅限制于材料内，或者蚀刻工艺可以一直进行直到将材料刻穿，从而暴露出其下面的材料。在许多工业应用，诸如电子、光学和光电工件的制造中，由于蚀刻工艺通常决定了最终制造出的工件的精度，因此蚀刻步骤是工件制造的关键阶段。在半导体芯片的制造过程中通常存在有一百多个工艺步骤，其中包括氧化、扩散、离子注入、导体和绝缘体的沉积、光刻和蚀...
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