技术编号:6845742
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶片容器,特别是涉及一种具有门的可密封的晶片封闭件,在门上带有闭锁件机构。背景技术 为了在容器中封闭晶片,专业人员采用了多种方法。为储存和运送晶片,一些容器具有刚性体,在刚性体上具有用于容纳晶片的沿竖直方向设置的槽、以及具有柔性的扣接盖。这些容器通常不适用于不能暴露于外界大气的晶片。对于尺寸范围是200mm或者更小的晶片,采用图1中所示的通常称为SMIF(标准化机械连接装置)的容器20,以便提供清洁密封的微小环境,该环境可使晶片输送进入加工设...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。