金刚石n型半导体及其制造方法、半导体元件及电子发射元件的制作方法技术资料下载

技术编号:6845881

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本发明涉及金刚石n型半导体及其制造方法、应用该金刚石n型半导体的半导体元件及应用该金刚石n型半导体的电子发射元件。背景技术 应用SCR、GTO、SIT、IGBT、MISFET等半导体材料的功率器件,是利用n型或p型等半导体制造的。在这种功率器件中,除了控制各自的载流子的浓度之外,非常重要的是还要形成浓度非常高的载流子浓度、降低电阻。这是因为希望与供给电流的电极金属之间的接触电阻较小。因此,在现有技术中,通过高浓度的掺杂,形成n+层及P+层,通过该层,能够实...
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