半导体阵列测试器的制作方法技术资料下载

技术编号:6846196

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本发明一般涉及半导体或其它电-光器件的测试,尤其涉及作为芯片制造中的中间结构的条、堆叠体或其它阵列的测试。背景技术 诸如半导体激光器的电-光器件已变成重要的工业组件。它们用于各种应用,范围从光盘中使用激光器的读出源到光纤通信系统中的发送器。半导体光学放大器(SOA)基本上是没有反射镜以形成激光器腔的激光器。SOA也在光通信中有广泛应用,诸如放大、用于超快切换的阵列、互连、波长转换和2R-3R再生。激光器、SOA和诸如调制器的其它组件可进行组合以形成集成装置...
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