技术编号：6846268
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及设有微电机械系统(MEMS)元件的电子器件，其包括存在于衬底上的第一电极，和至少部分地覆盖第一电极并包括压电激励器的可移动元件，通过对压电激励器施加激励电压，该可移动元件可在第一和第二位置之间向着和/或从衬底移动，在该第一位置中它借助间隙与衬底分开。背景技术 这种电子器件例如从GB-A 2,353,410得知。已知的电子器件包括设有压电激励器的可移动元件，例如梁或膜。这种激励器在激励电极之间包括压电材料层。可移动元件进一步包括第二电极，其覆盖衬底...
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