技术编号：6846449
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。,用于半导体制造/检测设备的基材的制作方法本发明涉及一种氮化铝烧结体，这种烧结体可用作构成热板、静电夹具(electric static chuck)、晶片探测器、感受器等主要在半导体工业中装置的材料；还具体涉及，这种烧结体具有优良的覆盖电极线路等的能力、高温体积电阻率和用热观察器测温时的准确度。本发明还涉及一种陶瓷基材，它是使用由上述氮化铝烧结体等构成的陶瓷，这种陶瓷基材可用作半导体制造和检测设备如热板、静电夹具或晶片探测器；具体涉及一种用于半导体制造/...
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