技术编号:6846594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板输出输入装置,特别是涉及一种用于从叠置在托板上的托盘取出基板、进而将处理后的基板再次搭载到托盘上的基板输出输入装置。背景技术 以往,提出了各种基板输送装置的方案,并且已经实现,其具备支承多个托盘、使其能够出入的托盘搁板,将从托盘搁板输出的一个托盘上叠置的工件取出并供给到板材加工机,并且,从板材加工机取出加工后的工件并叠置到其他托盘上。例如,现有的基板输送装置有特开平12-246552号公报中记载装置。图1是概略性表示现有的基板输送装置的说...
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