技术编号：6846639
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，特别是涉及使用了MEMS(微电子机械系统)技术且具有对置的可动电极的。背景技术 可变电容器是在包含可变频率振荡器、调谐放大器、移相器、阻抗匹配电路等的电路中重要的部件，近年来，越来越多地将其安装在便携设备中。与现在主要使用的变容二极管相比，使用MEMS技术制作的可变电容器具有损耗小、可提高Q值这样的优点，正在快速地进行其开发。图1(a)、(b)是示出现有的可变电容器的结构的剖面图、平面图(例如，参照非专利文献1)。该可变电容器形成了用焊料凸点1...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。