技术编号:6846654
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,特别涉及使用了铁电体的。背景技术 近来,随着便携式设备的普及、节省能源的要求及削减废弃物的要求等,对切断电源也能保持存储内容的非易失性存储装置的需要不断提高。使用了铁电电容器的半导体存储装置(FeRAM)是能够低电压工作、多次改写的非易失性存储装置,在与逻辑电路混装的集成电路装置等上被广泛利用。图6A是概要表示铁电电容器的结构的剖视图。在下部电极101与上部电极102之间夹有铁电体层105,从而构成铁电电容器。下部电极连接在例如板线PL上,上部...
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