技术编号：6846820
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种构成液晶显示器、有机电子显示器及其它各种半导体器件等有源元件的多晶半导体膜制造方法及其装置，是适于制造图像显示面板的技术。背景技术 例如，在有源方式的液晶显示器中，作为成为驱动元件的薄膜晶体管(TFT)的活性层，多晶硅膜(以下称为多晶硅膜或poly-Si膜)比非晶硅膜(以下称为非晶硅膜或a-Si膜)好。这是因为多晶硅膜的载流子(在n沟道的情况下为电子，在p沟道的情况下为空穴)的迁移率比非晶硅膜的迁移率高，能使像素尺寸(也称为单元尺寸)变小，并...
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