技术编号:6847151
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在基板上形成图案的方法及装置,特别涉及通过液滴喷出装置将液体材料以液滴的状态喷出在基板上而形成图案的技术,另外还涉及导电膜布线、器件的制造方法、电光学装置以及电子机器。背景技术 作为在基板上形成图案的技术,周知有采用旋转喷涂等涂敷技术在基板上形成由图案用液体材料构成的膜,然后采用光刻法将该膜形成为所希望的膜图案的方法。对此,也提出了将液材料配置在基板上的所希望的位置上,在基板上直接形成膜图案的技术。在这种技术中,可以省略或者简化上述有关光刻的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。