技术编号:6847176
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及可用作电容器、传感器、变换器及执行器的介电体元件,应用该介电体元件的压电体(电致伸缩体)元件、喷墨头及其制造方法。此介电体元件,也特别适于用作强介电体存储器及MEMS元件、存储器用读写头、光学快门、扬声器的压电体等。背景技术 作为电容器,一方面要求介电常数高的介电体材料,另一方面为了使电容器小型化,BaTiO3等陶瓷材料的薄膜化正在取得进展。然而,BaTiO3及Pb(Zr,Ti)O3等材料的介电常数,就陶瓷材料而言,至多约为1500,再加上由于薄...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。