技术编号:6847583
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高可靠性的形成在绝缘基片上的半导体器件或半导体集成电路,它并能以高成品率批量生产。本发明还涉及这种半导体器件或半导体集成电路的制造方法。本发明可用于液晶显示驱动电路或薄膜图象传感器驱动电路,也能用于三维集成电路。近年来,为减少基片与导电互连之间的寄生电容,以改善工作速度,人们企求在用玻璃或蓝宝石制成的绝缘基片上形成半导体集成电路。尤其是玻璃材料,诸如使用石英,不象硅片,对基片的尺寸不会附加限制。而且,玻璃材料又便宜,此外,它易于造成器件间的隔...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。