技术编号:6848852
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到硅双极晶体管,特别是用于移动通信的低压高频晶体管,确切地说是涉及到这种晶体管的制造方法。背景技术问题所在双极集成电路在现代通信系统中起着主要的作用。这种电路大部分用于模拟功能,例如开关电流和电压以及高频无线电功能(混频器、放大器、检波器等)。为了获得晶体管的良好高频性能,基极必须做得很窄。从而出现物理和实际观点方面的一些问题。必须小心地调整基极的掺杂以便得到合理的β值,发射极-基极结中的掺杂不要太高(否则将出现低的BVebo),掺杂要足以承受施...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。