技术编号:6849113
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光器尤其是带有光栅基窄线装置的高功率气体放电激光器。本发明是1999年11月30日提出的专利申请系列号09/451,407延续部分。背景技术窄带气体放电激光器作为集成电路光刻用光源所采用的气体放电紫外激光器典型地乃为窄线条的。已有技术中较佳窄线技术是采用光栅基的窄线装置连同输出耦合器形成激光器的谐振腔。在该腔体内的增益媒介通过放电到循环激光气体中而得以产生,诸如氪、氟和氖(对KrF激光器);氩、氟和氖(对ArF激光器);或氟和氦和/或氖(对F2...
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