技术编号:6849226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,且特别是有关于在多晶硅结晶的过程提供一晶种(Seed)用来使得多晶硅层的晶粒尺寸变大及分布均匀(High Uniformity)。背景技术 一般来说,多晶硅薄膜晶体管(Poly Silicon Thin Film Transistor)是应用在有源阵列液晶显示器荧幕(Activate Matrix Liquid Crystal Display,AMLCD)以及有源阵列有机发光显示器(Activate Matrix Organic Light...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。