技术编号:6849552
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及掩模、掩模的制造方法、薄膜图案的形成方法、电光学装置的制造方法和电子仪器。背景技术作为电光学装置之一的有机EL(电致发光)面板,由具有层叠了薄膜结构的自发光型、高速应答的显示元件构成。因此这种有机EL面板可以构成轻而与动画对应优良的显示装置,近年作为平面板显示器(FPD)电视受到非常关注。作为有机EL面板的代表性制造方法,公开在《应用物理通信》第51卷12期913~914页(1987)上。也就是说,利用光刻技术在ITO(铟锡氧化物)等透明阳极图案...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。